1.三丰主动的测头直径及形状： ø0.45mm 针型测针 (硬质合金)、ø7.0mm 球型测针 (硬质合金)、ø10.5mm 球型测针 (硬质合金)、其他。

  2.马尔测厚仪测头直径及形状： ø5mm 平面型测针 (不锈钢)、 ø8mm 平面型测针 (不锈钢)

  丈量薄膜时，因为薄膜是软质资料受力不同会导致紧缩变形量不一致，因为各品牌测厚仪的作业原理不同，会有不同测力巨细以及不同测头触摸面积，所以会导致丈量成果有差异，置于多少测力才干测出真实的厚度，需求匹配测力与测头触摸面积的联系来挑选。

  平测头：一般来说，薄膜测厚仪的测头与丈量基准台面的平行度在肯定平行（小于1um）的情况下，测力在0.1——1N之间，测头直径ø5——ø12mm之间的差异是不显着的，可是测头平行度在3um以上，丈量成果差异就很显着，不论是测力仍是测头直径任何一个产生显着的改变，对数据的影响都是巨大的。

  圆弧测头：薄膜测厚仪测头触摸面积小，对测力巨细很灵敏。需求匹配测力测验调整。

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